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  • EXPERIMENTAL INVESTIGATIONS OF NOVEL PLASMA SOURCES FOR ION IMMERSION IMPLANTATION 

    Autor: Edmundo Sydenham Wyndham Hodder; Luis Sebastián Caballero Bendixsen; Francisco Roque Castillo Andaeta; Fernando Alfredo Guzman Olivos; Karla Andrea Kauffmann Figueroa; Hugo Marcelo Ruiz Araya Año: 2003N° de proyecto: 1030970Tipo: ProyectoPrograma: FONDECYTInstitución Responsable: Pontificia Universidad Católica de Chile